Προσαρμοσμένος φούρνος απόθεσης χημικού ατμού, κενός φούρνος επαγωγής αερίου
Εφαρμογή:
Μπορεί να χρησιμοποιηθεί για την απόθεση χημικού ατμού των σύνθετων υλικών με το αέριο άνθρακα (όπως C3H8, κ.λπ.) ως πηγή άνθρακα, όπως CVD και CVI επεξεργασία των σύνθετων υλικών C/C και των σύνθετων υλικών SIC.
Χαρακτηριστικά γνωρίσματα:
Η χρησιμοποίηση προώθησε την τεχνολογία ελέγχου, μπορεί ακριβώς να ελέγξει τη ροή και την πίεση του αερίου, η ροή αερίου απόθεσης στο φούρνο είναι σταθερή, και η σειρά διακύμανσης πίεσης είναι μικρή
Η ειδική αίθουσα απόθεσης δομών έχει την καλή επίδραση σφράγισης και την ισχυρή κατά της μόλυνσης δυνατότητα
Η πολυδιαυλική πορεία αερίου απόθεσης υιοθετείται, ο τομέας ροής είναι ομοιόμορφος, η νεκρή γωνία απόθεσης δεν διαμορφώνεται, και η επίδραση απόθεσης είναι καλή
Το ιδιαίτερα διαβρωτικό αέριο ουρών, το εύφλεκτο και εκρηκτικό αέριο, η στερεά σκόνη και τα χαμηλά ιξώδη προϊόντα σημείου τήξης που παράγονται από την απόθεση μπορούν να αντιμετωπιστούν αποτελεσματικά
Η πιό πρόσφατη αντιδιαβρωτική κενή μονάδα σχεδίου έχει έναν μακροχρόνιο χρόνο απασχόλησης και ένα χαμηλό ποσοστό συντήρησης.
Κύρια διαμόρφωση του φούρνου απόθεσης
Πόρτα φούρνων: ανελκυστήρας βιδών // υδραυλικός ανελκυστήρας/ χειρωνακτική κλειδαριά/αυτόματη κλειδαριά δαχτυλιδιών κλειδαριών
Κοχύλι φούρνων: πλήρης χάλυβας άνθρακα/εσωτερικό ανοξείδωτο στρώματος/όλο το ανοξείδωτο
Φούρνος: μαλακός άνθρακας αισθητός/μαλακός γραφίτης αισθητός/σκληρά σύνθετο αισθητό
Θερμάστρα: ισοστατικός από γραφίτη/φορμαρισμένος υψηλός από γραφίτη/λεπτός γραφίτης τρία
Σύστημα αερίου διαδικασίας: μετρητής ροής όγκου/μάζας χειρωνακτική βαλβίδα/αυτόματη βαλβίδα εισαγόμενος/εσωτερικός
Κενή αντλία και κενός μετρητής-εισαγωγή/εσωτερικός
Ανθρώπου-μηχανής διεπαφή: οθόνη αφής/βιομηχανικός υπολογιστής
Ηλεκτρικά συστατικά: Chint/Σνάιντερ/Siemens
Όγκος (λ) | 35 | 226 | 602 | 1177 | 1899 |
Μέγιστη θερμοκρασία (°C) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
Μέγεθος Δ × Χ περιοχής εργασίας (χιλ.) | Φ300×500 | Φ600×800 | Φ800×1200 | Φ1000×1500 | Φ1100×2000 |
Μέθοδος ελέγχου θερμοκρασίας | Ηλεκτρικός ελεγκτής θερμοκρασίας νησιών της Ιαπωνίας | ||||
μέθοδος θέρμανσης | Θέρμανση αντίστασης | ||||
Κενό σύστημα | Αντιρρυπαντική αντλία ή αντλία στροφίων + αντλία ριζών | ||||
Συμπυκνώνοντας ατμόσφαιρα | Αέριο υδρογονανθράκων, κ.λπ. | ||||
Εκτιμημένη τάση παροχής ηλεκτρικού ρεύματος (β) | 380 | ||||
Εκτιμημένη τάση θέρμανσης (β) | Σύμφωνα με το σχέδιο, διαμορφώστε το μετασχηματιστή φούρνων | ||||
Κενό όριο (PA) | 6X10ˉ2 (κενό κρύο κράτος) |