CVD φούρνος απόθεσης χημικού ατμού, αυτόματος συμπυκνώνοντας φούρνος Zirconia
Εφαρμογή φούρνων απόθεσης χημικού ατμού:
Ο φούρνος απόθεσης χημικού ατμού μπορεί να χρησιμοποιηθεί για την απόθεση χημικού ατμού των σύνθετων υλικών με το αέριο άνθρακα (όπως C3H8, κ.λπ.) ως πηγή άνθρακα, όπως CVD και CVI επεξεργασία των σύνθετων υλικών C/C και των σύνθετων υλικών SIC.
Χαρακτηριστικά γνωρίσματα φούρνων απόθεσης χημικού ατμού:
Η χρησιμοποίηση προώθησε την τεχνολογία ελέγχου, μπορεί ακριβώς να ελέγξει τη ροή και την πίεση του αερίου, η ροή αερίου απόθεσης στο φούρνο είναι σταθερή, και η σειρά διακύμανσης πίεσης είναι μικρή
Η ειδική αίθουσα απόθεσης δομών έχει την καλή επίδραση σφράγισης και την ισχυρή κατά της μόλυνσης δυνατότητα
Η πολυδιαυλική πορεία αερίου απόθεσης υιοθετείται, ο τομέας ροής είναι ομοιόμορφος, η νεκρή γωνία απόθεσης δεν διαμορφώνεται, και η επίδραση απόθεσης είναι καλή
Το ιδιαίτερα διαβρωτικό αέριο ουρών, το εύφλεκτο και εκρηκτικό αέριο, η στερεά σκόνη και τα χαμηλά ιξώδη προϊόντα σημείου τήξης που παράγονται από την απόθεση μπορούν να αντιμετωπιστούν αποτελεσματικά
Η πιό πρόσφατη αντιδιαβρωτική κενή μονάδα σχεδίου έχει έναν μακροχρόνιο χρόνο απασχόλησης και ένα χαμηλό ποσοστό συντήρησης.
Κύρια διαμόρφωση του φούρνου απόθεσης
Πόρτα φούρνων: ανελκυστήρας βιδών // υδραυλικός ανελκυστήρας/ χειρωνακτική κλειδαριά/αυτόματη κλειδαριά δαχτυλιδιών κλειδαριών
Κοχύλι φούρνων: πλήρης χάλυβας άνθρακα/εσωτερικό ανοξείδωτο στρώματος/όλο το ανοξείδωτο
Φούρνος: μαλακός άνθρακας αισθητός/μαλακός γραφίτης αισθητός/σκληρά σύνθετο αισθητό
Θερμάστρα: ισοστατικός από γραφίτη/φορμαρισμένος υψηλός από γραφίτη/λεπτός γραφίτης τρία
Σύστημα αερίου διαδικασίας: μετρητής ροής όγκου/μάζας χειρωνακτική βαλβίδα/αυτόματη βαλβίδα εισαγόμενος/εσωτερικός
Κενή αντλία και κενός μετρητής-εισαγωγή/εσωτερικός
Ανθρώπου-μηχανής διεπαφή: οθόνη αφής/βιομηχανικός υπολογιστής
Ηλεκτρικά συστατικά: Chint/Σνάιντερ/Siemens
Όγκος (λ) | 35 | 226 | 602 | 1177 | 1899 |
Μέγιστη θερμοκρασία (°C) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
Μέγεθος Δ × Χ περιοχής εργασίας (χιλ.) | Φ300×500 | Φ600×800 | Φ800×1200 | Φ1000×1500 | Φ1100×2000 |
Μέθοδος ελέγχου θερμοκρασίας | Ηλεκτρικός ελεγκτής θερμοκρασίας νησιών της Ιαπωνίας | ||||
μέθοδος θέρμανσης | Θέρμανση αντίστασης | ||||
Κενό σύστημα | Αντιρρυπαντική αντλία ή αντλία στροφίων + αντλία ριζών | ||||
Συμπυκνώνοντας ατμόσφαιρα | Αέριο υδρογονανθράκων, κ.λπ. | ||||
Εκτιμημένη τάση παροχής ηλεκτρικού ρεύματος (β) | 380 | ||||
Εκτιμημένη τάση θέρμανσης (β) | Σύμφωνα με το σχέδιο, διαμορφώστε το μετασχηματιστή φούρνων | ||||
Κενό όριο (PA) | 6X10ˉ2 (κενό κρύο κράτος) |